洁净技术是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。在中国,洁净技术起于上世纪60年代,经过近几十年的发展,石碣洁净室,中国洁净技术已逐步形成产业链,百级洁净室建造,上游包括空气净化设备的制造、洁净室耗材生产;中游包括与洁净室的设计、建造、调试、测试、运行相关的行业,下游包括各个使用洁净室的行业。
洁净室节能运行过程中应注意的事项如下:
1.生产工作停止时,排气柜应减少排风量,百级洁净室安装,新风量亦应随之调小。
2.根据不同的工艺过程应能有效控制室内换气次数。
3.与一般空调系统相同,运行中在某些季节应尽可能利用自然的冷却作用(室外空气冷却、冬季利用冷却塔获得冷水)。
4.过渡季是否增加新风比,以及值班运行方式是否提前开始运行均应通过经济比较确定。
5.提高空调净化系统的自控水平,能够实现既保证运行质量,又能达到节能的目的。