东莞净化车间_普华信诺_东莞净化车间安装公司

为了避免和减少洁净室从业人员对洁净室造成的污染。任何洁净室工作以外的人员，在与洁净室工作人员进行接触谈话时，要将自己背对过去，因为口鼻会向注视的方向散发污染。

做到口鼻不对洁净室的工作区。

如果出现咳嗽或者打喷嚏的情况，东莞净化车间施工，要做到背对洁净室的工作区用手套掩住，然后及时更换手套。情况严重的者应立即离开洁净室区域，东莞净化车间工程，并向**报告。

　　洁净室微电路的废品

      微电路的废品微电路生产过程的较重要的质量指标为成品率如果成品率为40%，废品率为60%，各种废品所占的比例为一粒子污染    30%；一特征尺寸界外值    6%；一光刻废品    9%；一晶体废品    6%；    一工艺过程参数不稳定9%共计60%存贮量的增大，特征尺寸的缩小均加剧了微电路的废品问题，并对洁净度提出了更严的要求。所示为粒子引起的二种微电路的代表性废品：

　　一在两条金属线路上掉有粒子，致使线路短路；一粒子掉落在晶园上形成屏蔽效应（光刻废品）；由粒子引起的微电路废品a）糙子使金属线路短路；5）粒子引起光刻废品多大粒径的粒子会产生废品？现代微电路却要求粒子的极限粒径等于0.1的光刻器件尺寸。表15.2所示为微电路存贮量，较小光刻尺寸和粒子极限粒径的相关性，东莞净化车间，例如，东莞净化车间设计，在生产1兆位微电路时，粒子的极限粒径应为0.1微米，而64～256兆位微电路-0.05微米。