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洁净室空气净化处理

*5．4．1条 各等级空气洁净度的空气净化处理，洁净室报价，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。

注：100，洁净室，000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。

*5．4．2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

*5．4．3条净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。

　随着电子信息产品越来越功能化、微型化、集成化和精密化等必然发展趋势的推动，元器件必须具备越来越高的可靠性才能满足市场需求。由此可以预测，电子制造产业也会对洁净室制定越来越严格的标准。同时国内的洁净技术的需求也随着其他产业的转移和改造以及新兴产业的兴起而需求剧增。