洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,洪梅无尘洁净室,将使涡流现象减少较低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,无尘洁净室施工,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
公司承揽的光电、微电子、光学仪器、医疗器械、喷涂、LCD、TFT、TP、PCB、食品、美容化妆品、注塑成型等近百多项工程。
复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,无尘洁净室建造,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。