影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,洁净室价格,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,洁净室施工,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,专业承接洁净室,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理*,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,洁净室,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。