洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。
1. 按功能分类
工业洁净室:主要是控制对生产工艺和产品造成危害的粒子,根据产品和生产工艺的要求,室内无尘车间,对粒子的颗数和粒径均加以限制。
生物洁净室:主要是控制细菌、病毒等微生物进入受控空间。细菌、病毒和微生物不会独立进入受控空间,惠州室内无尘车间,都是依附在粒子上同时进入受控空间,室内无尘车间,因此,也要对粒子的进入进行控制,还可以采用消毒等手段,对依附于粒子上的细菌、病毒和其他微生物进行杀灭。
2. 按气流型式分类
(1) 单向流洁净式:有垂直单向流,有水平单向流,非满布单向流
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