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空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,专业建造千级洁净室,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态:处于正常使用的洁净室,千级洁净室施工,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,千级洁净室,可从事正常的工作。
复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,千级洁净室销售,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。