在单向流洁净室以及单向流净化设备中,可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来,洁净室施工,破坏了上述“活塞流”的状态,危害较大。对于和外界有开口相通的局部净化设备,例如洁净工作台,洁净室,这种气流将引射外界污染气流,百级洁净室,在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积,更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效迭风截面。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
⑴天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
⑵空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
⑷地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
⑸照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。